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旋转硅锆、硅锆铝靶

采用硅锆靶、硅锆铝靶镀膜生成的氮化硅锆膜层相…

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采用硅锆靶、硅锆铝靶镀膜生成的氮化硅锆膜层相比氮化硅膜层具有更高的硬度,更优越的抗氧化性能。典型靶材成分为 Si63.5Zr36.5wt%、SiZr36.5Al5 wt%。靶材最大长度可达4000mm。

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